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FACILITIES
NBES lab.에는 폴리머 기반의 미세공정, 회로 및 패키징 제작을 통해 생체전자디바이스를 제작하고 검증하기 위한 장비들이 구축되어 있습니다.
부산대학교 양산캠퍼스 첨단의생명융합센터 (ABC)에 위치한 NBES 연구실에는 유연 폴리머 기반으로 반도체 미세공정 기술을 적용해서 신경전극, 회로, 무선모듈을 직접 설계/제작하고 제작된 디바이스의 특성평가를 한 후 동물실험에 바로 적용할 수 있는 시제품을 개발할 수 있는 연구환경 및 연구장비를 구축하고 있습니다.
MICROFABRICATION 미세공정
MASK ALIGNER & YELLOW ROOM
(MIDAS MDA-400LJ)
마이크로/나노 공정 (Photolithography)
UV LASER CUTTER (DPSS SAMURAI)
폴리머/금속박막 미세 패터닝, 미세 구조 형성
플라즈마/ RIE (FEMTO CIONE)
폴리머 표면 활성화 및 에칭
SPIN COATER (MIDAS)
박막 필름 도포
WET HOOD
& 안전 시약장
시료 건조, 가열 및 Aging
OVEN
(STD. & VAC.)
시료 건조, 가열 및 Aging
MEASUREMENT 측정
ELECTRO-
CHEMICAL
ANALYZER
전극의 전기화학적 특성 측정 (EIS, CV)
나노물질 코팅 (electrodeposition)
바이오센서 반응 측정
ELECTRONICS STATION
소자 및 회로 분석
오실로스코프 (4ch, Tektronix) + Diff. Amp.
함수발생기 (Agilent)
디지털 멀티미터 (keithley)
파워서플라이
고배율 광학현미경 (OLYMPUS)
미세구조물 표면 관찰
4채널 NEURAL STIMULATOR (MCS)
신경전극 및 센서의 자극 특성 검증
동물 자극 실험
PICOAMMETER (KEITHLEY)
초정밀 (pA) 누설전류 측정
ASSEMBLY 조립
HEATING PRESS (CARVER)
폴리머 시료의 소결 및 밀봉
MICROSCOPE 실체현미경 (OLYMPUS)
및 SOLDERING STATION
시료 관찰 및 정밀 조립 작업
LICENSED SOFTWARE
COMSOL MULTIPHYSICS
유한요소 시뮬레이션
ORIGINLAB
통계 및 그래프
RHINOCEORS
3D 캐드 및 드로잉
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